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更新時間:2024-05-08 22:45:36瀏覽次數(shù):169次
聯(lián)系我時,請告知來自 農(nóng)機網(wǎng)大面積涂裝的生產(chǎn)通常涉及到涂裝線中的許多濺射陰極,每一個陰極都會導(dǎo)致生產(chǎn)的不確定性
大面積涂裝的生產(chǎn)通常涉及到涂裝線中的許多濺射陰極,每一個陰極都會導(dǎo)致生產(chǎn)的不確定性。
光學(xué)生產(chǎn)控制是必要的,它可以在線提供目前生產(chǎn)的涂層信息。在大多數(shù)情況下,當(dāng)最終產(chǎn)品離開真空時,透射率、反射率或橢偏光譜被記錄在陰極組之間或直接在涂裝線后面:
以CODE軟件(薄膜產(chǎn)品分析與設(shè)計程序)為基礎(chǔ)開發(fā)了BREIN軟件包,該軟件包主要用于大型涂裝線中多層涂層的光控制生產(chǎn)。BREIN的全稱是BRight Eye INspection network:它管理著幾個被稱為“BRight Eyes"(BE)的觀測站,這些站點分析涂裝線內(nèi)或之后某個特定位置的光譜:
在對產(chǎn)品進(jìn)行分析之前,每個 BE 都要提取出生產(chǎn)線上前一個BE獲取的結(jié)果。這種方法只需要分析個BE之后新沉積的層——每一個BE的計算工作量通常都很低,甚至可以在速度較慢的嵌入式計算機上完成。另外,幾個BE分析步驟可以在同一臺計算機上完成。主BREIN應(yīng)用程序收集BE結(jié)果并顯示產(chǎn)品的當(dāng)前狀態(tài)。作業(yè)人員可以利用這些信息對生產(chǎn)條件的變化做出決策。下面的圖表顯示了典型的BREIN設(shè)置方案。在亮眼觀測站BE1……BE4記錄的光譜被存儲在一個服務(wù)器上,并在兩臺計算機(PC 1 和 PC 2)上進(jìn)行分析。
分析結(jié)果存儲在存儲設(shè)備上的數(shù)據(jù)庫中:
可以通過各種方式過濾和查看數(shù)據(jù)庫內(nèi)容,提供關(guān)于生產(chǎn)歷史的信息。在操作層,重要的涂層參數(shù)以圖形方式顯示,藍(lán)色表示過高,紅色表示過低。參數(shù)值的警告級別用紅線表示。操作人員可以方便地查看涂層參數(shù)的時間變化,如下屏截圖所示:
掃描窗格的亮眼觀測站可以計算和導(dǎo)出獲得參數(shù)輪廓的統(tǒng)計參數(shù)。確定各參數(shù)的平均值、標(biāo)準(zhǔn)差和范圍。您可以為這些值定義規(guī)格,并將窗格劃分為“Good"或“Bad",這取決于與配置文件統(tǒng)計信息相關(guān)的窗格性能。
BREIN可以耦合到被廣泛用于大面積涂布的Zeiss OptoPlex NG.Q 系統(tǒng)上。
BREIN可以連接到外部SQL數(shù)據(jù)庫來導(dǎo)出生產(chǎn)控制結(jié)果。
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