江蘇創(chuàng)生源智能裝備股份有限公司
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廠商性質(zhì)其他
所 在 地無錫市
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更新時間:2023-09-06 15:02:07瀏覽次數(shù):137次
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創(chuàng)生源自動化依托本公司雄厚的技術(shù)力量,自主研制了AWLB系列全自動石英舟裝卸片機(jī),花籃上料至石英舟,擴(kuò)散/熱氧制程完成后石英舟下料至花籃
創(chuàng)生源自動化依托本公司雄厚的技術(shù)力量, 自主研制了AWLB系列全自動石英舟裝卸片機(jī),花籃上料至石英舟,擴(kuò)散/熱氧制程完成后石英舟下料至花籃。整個上下料過程全自動控制,避免因人工上片/下片對硅片表面產(chǎn)生的污染且有效降低碎片率,有助于產(chǎn)能與良率比。
設(shè)備名稱: 全自動石英舟裝卸片機(jī)
設(shè)備型號:AWLB-D8000 、AWLB-D16000
設(shè)備用途:AWLB系列全自動石英舟裝卸片機(jī)集裝片、卸片、裝卸片三種功能為一體,可從石英舟中把擴(kuò)散后的硅片卸到花籃中,也可從花籃中將制絨制程后的硅片裝入石英舟中??稍谝粋€石英舟插卡槽中插入單片,實現(xiàn)雙面擴(kuò)散片工藝;也可在一個石英舟卡槽中插入雙片,實現(xiàn)單面擴(kuò)散工藝。采用裝片與卸片可連續(xù)銜接方式,實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。
技術(shù)特點:
----可應(yīng)用于離線、在線常規(guī)擴(kuò)散工藝、退火工藝.
----可應(yīng)用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.
----可應(yīng)用于4.76mm、2.38mm等不同規(guī)格的石英舟卡槽.
----采用裝片與卸片可連續(xù)銜接方式,實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn);也可單獨(dú)裝片或單獨(dú)卸片。
----采用PLC控制,裝卸片過程全自動;觸摸屏菜單操作,簡潔明了.
----具有完善的檢測報警系統(tǒng),保證上片自動運(yùn)行穩(wěn)定,操作放心。
----采用連續(xù)花籃方式,降低工人勞動強(qiáng)度。
----可選支持MES接口和遠(yuǎn)程診斷功能.
----可選方阻檢測功能.
----可選匹配智能工廠AGV接駁口.
----產(chǎn)能:≧16000Pcs/h
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