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SDC-600半導(dǎo)體晶圓接觸角測(cè)量?jī)x應(yīng)用領(lǐng)域

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半導(dǎo)體晶圓接觸角測(cè)量?jī)x Wafer水滴測(cè)試晶圓表面分析測(cè)量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體晶圓（Wafer）工藝的質(zhì)量控制。提供晶圓（Wafers）表面的快速并準(zhǔn)確的接觸角/表面能分析，從而評(píng)估粘性，潔凈度及鍍膜。接觸角測(cè)量?jī)x采用外形圖像分析（Shape image analysis）方法測(cè)量樣品表面親疏水性、潤(rùn)濕性能、表面張力、表面能等數(shù)據(jù)的設(shè)備

詳細(xì)介紹

半導(dǎo)體晶圓接觸角測(cè)量?jī)x Wafer水滴測(cè)試

　　一、概述(Summary)：

　　接觸角(contact angle)是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處所作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤(rùn)濕程度的量度；接觸角現(xiàn)有測(cè)試方法通常有兩種:其一為外形圖像分析方法;其二為稱重法.后者通常稱為潤(rùn)濕天平或滲透法接觸角儀.但目前應(yīng)用廣泛,測(cè)值直接與準(zhǔn)確的還是外形圖像分析方法，接觸角測(cè)量?jī)x采用外形圖像分析(Shape image analysis)方法測(cè)量樣品表面親疏水性、潤(rùn)濕性能、表面張力、表面能等數(shù)據(jù)的設(shè)備。

　　二、半導(dǎo)體晶圓接觸角測(cè)量?jī)x應(yīng)用：

　　1、液體在固體表面的接觸角和潤(rùn)濕性：包括靜態(tài)接觸角，動(dòng)態(tài)接觸角(前進(jìn)/后退接觸角)，接觸角滯后性等；

　　2、液滴在固體表面的起始滑動(dòng)角(或滾動(dòng)角)，滑動(dòng)速度；(擴(kuò)張功能)

　　3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤(rùn)濕行為；

　　4、固體表面自由能(surface free energy)，及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻(xiàn)；

　　5、液體在固體表面的粘結(jié)力(adhesion)、滯留力(retention)等；

　　6、固體表面在經(jīng)過(guò)清洗、處理后的結(jié)果(效果)評(píng)估：如潔凈度(cleanliness)，均勻性(homogeneity)，和表面能改變幅度等；

　　7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動(dòng)態(tài)表/界面張力的測(cè)量；

　　8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場(chǎng)、在線、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)；

　　9、表面活性物質(zhì)(如表面活性劑)臨界膠團(tuán)溶度(CMC)的測(cè)量：包括全自動(dòng)CMC測(cè)量，全自動(dòng)有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化；

　　10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究；

　　11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液/泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過(guò)程的測(cè)量和分析等。

　　12、全自動(dòng)檢測(cè)整體解決方案，可搭配至流水線上使用，提高檢測(cè)效率。

　　三、設(shè)備原理解析(Principle analysis)：

　　我司設(shè)備采用優(yōu)良的CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺(tái)，可進(jìn)行工作臺(tái)上下、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下、左右精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái)，能適應(yīng)在不同用戶材料厚度加大的場(chǎng)合。儀器框架可以根據(jù)式樣的大小適量調(diào)節(jié)，擴(kuò)大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測(cè)試多次后的結(jié)果可以同時(shí)保存在同一報(bào)告下，能讓用戶更好的對(duì)材料數(shù)據(jù)進(jìn)行管控。該儀器設(shè)計(jì)美觀大方、操作簡(jiǎn)單、符合用戶所需。

　　四、分析軟件：

　　1、接觸角測(cè)量分析軟件自動(dòng)橢圓擬合法(一鍵自動(dòng)擬合，不存在人工誤差)包括：

　　圓法擬合(Circle method)(適用于低角度接觸角測(cè)量)

　　橢圓/斜橢圓擬合法(Ellipse/Oblique ellipse)(適用于高角度接觸角擬合)

　　LY(應(yīng)用于120°以上高角度接觸角測(cè)量)

　　微分橢圓法/微分圓法(Differential circle / Differential ellipse)(應(yīng)用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合)

　　2、動(dòng)態(tài)接觸角擬合包括：

　　潤(rùn)濕性能測(cè)試(Wettability)(應(yīng)用于慢性吸收材料、潤(rùn)濕材料的表面吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試，批量處理)

　　視頻擬合(Video analysis)(應(yīng)用于吸收或潤(rùn)濕速度較快的樣品的吸收或潤(rùn)濕性能測(cè)試，視頻動(dòng)態(tài)處理)

　　動(dòng)態(tài)表面/界面張力測(cè)量(Measurement of dynamic surface / interfacial tension)(測(cè)量液體整個(gè)過(guò)程的張力變化趨勢(shì)，更準(zhǔn)確的判定其真實(shí)的表面/界面張力)

　　表面能量計(jì)算(Surface energy)(使用主流的多種表面能計(jì)算方式測(cè)量對(duì)固體表面能量進(jìn)行分析)

　　粘附功(Adhesion work)

　　數(shù)據(jù)報(bào)告(Data report)(支持WORD、Excel類型數(shù)據(jù)報(bào)告，自動(dòng)生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖)

　　3、規(guī)格：

　　接觸角測(cè)量范圍：0-180°；

　　接觸角測(cè)量精度：±0.1°；

　　表界面張力測(cè)量范圍：0-2000mN/m；測(cè)量精度：0.01 mN/m；

　　高精度自動(dòng)滴液系統(tǒng)：軟件高精度滴液系統(tǒng)；滴液精度：0.0 1μl；

　　一鍵式多點(diǎn)測(cè)量(可多次循環(huán))：自動(dòng)進(jìn)樣→自動(dòng)接液→軟件自動(dòng)完成測(cè)量→自動(dòng)換下一個(gè)點(diǎn)位；

　　可針對(duì)不同樣品設(shè)置測(cè)量方案并可保存，方便下次再次測(cè)量同一類樣品時(shí)直接調(diào)取測(cè)量。

　　五、測(cè)量方法：

　　一鍵式軟件操作：【按空格鍵】--打開(kāi)攝像頭；【測(cè)試】--精準(zhǔn)的控制滴液-自動(dòng)接液-高精度的進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量-測(cè)量完畢后自動(dòng)更換測(cè)量位置直至整個(gè)原設(shè)置好的測(cè)量方案運(yùn)行結(jié)束